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内、外细线干膜曝光

产品特点和优势:

★细线加工专用机床,最小分析能力15/15μm,会议mSAP工艺要求

★与一个自主的超级算法相匹配DMD控制系统,实现高分辨率、高效率的处理

★曝光全数字化操作,踏入工业4.0智能制造

产品性能
  • 最大曝光尺寸

    大桌子:24.5""×28.5”
    标准表:22""×24.5"

  • 板厚

    独立的:0.05-5.0mm
    连接到线路:0.075-2.5mm

  • 对准精度

    ±10 μm

  • 层间对准精度

    ±20 μm

  • 光源

    405nm

  • 场深

    ±300 μm

  • 线宽精度

    ±10%

  • 适应性

    适向 智能制造系统

设备安装使用环境
  • 形状尺寸(连接到线路,包括收发板)

    8542mm X 3200mm X 2200mm(L X W X H)

  • 形状尺寸(独立的)

    3010 X 1898 X 2200(L X W X H)

  • 承载需求

    750KG/㎡

  • 电力需求

    3*380AC+N+P,80A

  • 功耗

    独立的4KW/整机9KW

  • 环境温湿度

    22±1℃/55±5%

  • 环境清洁度

    Class 10000